热翘曲系统

v  最大样品尺寸 : 400 mm x 400 mm

v  最小样品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm

v  在 2 秒内获得 140 万个数据点

v  Warpage 分辨率 <1 µm

v  最高每秒加热 3.5ºC 摄氏度

v  红外线加热和对流冷却来控制温度

v  高分辨率测量小型样品

v  XY 轴应变 STRAIN 和热膨胀系数CTE 计算

支持从室温到 300ºC 以下的回流炉温度模拟，以及-50ºC 至 300ºC 度可靠性测试选项