电子束曝光机

EBL6900电子束曝光机操作软件纯中文/英文 可切换操作界面，模块化布局。在满足基本电镜的操作功能外还具 有二维器件电子束曝光功能，系列软件支持实时3图像同时显示，2通道外加CCD窗口，支持二次电子像与背散射像合成， 多点尺寸测量，  电镜图片文字标注，真空图显示，CCD窗口显示等强大的辅助功能，满足不同用户的个性化需求。 自动功能：聚焦，亮度/对比度调节，消像散，电子束对中，电子枪自动校正，故障检测，  一键看像,选配3D重构等。

品牌：中科科仪

型号：EBL6900

分辨率:   3nm@30KV （SE）； 6nm@30kV(BSE)

▲2. 放大倍率:  8～300000 倍 

▲3. 电子枪:  翻开式预对中钨丝阴极，到达样品的束流范围：0-2000nA

4. 加速电压: 0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV

5. 具有一键看像功能

6. 透镜系统: 三级高性能锥形透镜系统

7. 物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

8. 真空系统： 1个涡轮分子泵，1个机械泵； 样品室真空优于2.6E-3 Pa（启动真空值），最高真空1.2E-4 Pa，全自动真空控制，具有真空互锁功能。

▲9. 探测器标准配置：

（1）高真空二次电子探测器；

（2）四分割半导体BSE探测器；

（3）红外CCD摄像头